제품 하이라이트

G-Rex3<span class='small-trade'>™</span> Robot System (300/450mm)
 

Features:

  • Low body weight for higher acceleration and yields
  • Extended reach and vertical travel combination
  • Extended rotation motion range
  • DSP-based motion controller for vibration-free wafer transport
  • Advanced motion planning and blending
  • Optimal PID timing and gains scheduling
  • Modular design
  • Optional fast scanning feature
  • ISO Class 1

 

Benefits:

  • Superior motion performance
  • Low particle generation and higher yields
  • Increased reliability due to fewer moving parts
  • Optimal throughput and repeatability
  • Maximum tool uptime
  • Modular design reduces service cycle times
  • Easy maintenance and service
  • Lower preventive maintenance than GB4S

G-Rex3 Robot System (300/450mm)

Genmark의 신규 로봇 시리즈인 G-Rex™는 표준 하중 300mm 및 450mm 웨이퍼 수송 장비 분야에 대한 현재 기술 규격을 다루며, 현재 시장에서 사용할 수 있는 가장 정확하고 처리량이 높은 atmospheric로봇 솔루션입니다.

G-Rex3™ 로봇 시스템은 소규모 풋프린트, 최적의 처리량, 신뢰성, 비용 효율적 패키지로의 서비스 가능성을 제공합니다. 이는 혁신적인 특허 계류 설계, 향상된 제어 접근, EZTeach 기술을 특징으로 하며, 이를 통해 향상된 성능 및 신뢰성을 제공합니다. G- G-Rex3™은 부품 및 동작 구성 부분이 적은 단순화된 저중량 설계입니다. 그 결과 동력이 향상되어 가속과 속도가 더 높아집니다.

G-Rex3™는 설치, 교육, 프로그래밍, 문제 해결이 쉽습니다. G-Rex3™의 다기능성으로 인해 G-Rex3™은 싱글 및 듀얼,arm 듀얼 블레이드 end-effector, 진공 혹은 edge 보유 지지대 등 다양한 장비 분야 및 유연성 있는 맞춤형 구성을 지원합니다.

Specifications:

  G-Rex 3 v.1 G-Rex 3 v.2
Configuration    
Wafer Size up to 450mm up to 450mm
Arm Configuration(s) 2 Link: 5.25"-5.25;
2 Link: 7-25"-7.25";
3 Link: 4"-8"-4"
5.205"-5.205"
End Effectors Types Vacuum, Edge-Gripping, Gravity Vacuum, Edge-Gripping, Gravity
Wafer Mapping reflective; through-beam Through-beam at the back side of the EE
Physical Properties    
Size (Diameter/Length) 9.76" (body DIA) and 30.25" 9.8"/20.94"
vert. stroke - body height 7" - 13.6"
12" - 18.6"
17" - 23.6"
20" - 26.6"
NA (Grey)
Axes 3 - T, R, Z 3 - T, R, Z
Range of Motion T: 500°
R:
- 5.25'-5.25': [-10.41 - 10.41]
- 7.25'-7.25': [-14.5", 14.5"]
- 4"-8"-4": [-16", 16"]
Z: 7"; 12"; 17"; 20"
T: 500°
R: [-10.41 - 10.41]
Z: [10.7"]
Performance    
Payload (Dynamic/Static) 2 lbs 2 lbs
Repeatability T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0/001"
T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0/001"
Environment    
Cleanliness ISO Class 1 Compatible ISO Class 1 Compatible
Wafer Contact Material Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel
Standards Compliance    
Applicable Directives/Standards Machine Directive 89/392/EEC
89/336/EEC (EMC)
S2-93A
S8-95
Machine Directive 89/392/EEC
89/336/EEC (EMC)
S2-93A
S8-95
Standards to Verify Compliance EN 55011
EN 50082-1
EN 60204-1
EN 55011
EN 50082-1
EN 60204-1
Reliability per SEMI E10 >15M MCBF >15M MCBF

Black Box Option:

블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.

  • 장비 가동시간, 비사용시간, 제조시간, 총가동시간, 자료는 SEMI E10-701 표준을 준수합니다
  • 각 모터에 대한 회전 수
  • 로봇충돌로 인한 과도한 속도/가속, 오버로드로 인한 오류 수
  • 시리얼 번호, 조정 자료, 추가 통계자료와 같은 로봇 특수 정보

누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.

블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.

Black Box Specifications

  • Number of motors observed: up to 8
  • Storage media: 64KB FLASH
  • Data retention time: More than 10 years
  • Communication interface: RS232, Ethernet (optional).