300mm 및 450mm 웨이퍼 및 대규모 FPD의 극도로 정밀한 수송을 위해 설계된 GRP-GB8-TL 로봇 시스템은 확대된 작업 범위 용량과 하중 용량을 결합하고 Genmark의 GPR™특허 시스템을 채용했다.
GPR 특허 기술은 서보 제어 로봇을 통해, 서보 제어 로봇은 misaligned Cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
The GPR-GB8-TL 은 매우 강인하고 구조적으로 재강화된 수송 시스템이며, 300/450mm 웨이퍼 분야, 레티클, 플랫 패널에 대해 중형 end-effector를 처리할 수 있습니다.
유일한 YAW 특허 기술을 통해 GPR-GB8-TL 로봇 시스템이 고정된 중앙 위치에서 in-line 처리 모듈, FOUPS, Cassette에 접근할 수 있고 공정의 radial placement 및 기타 로봇 주위의 스테이션에 대한 필요성을 제거합니다. GPR-GB8-TL 로봇은 2-3 telescopic platform 구성에서 사용 가능합니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) |
2 Link 9.25"-9.25" 3 Link 4.425"8.85"-4.425" 3 Link 5.95"-11.9"-5.95" 3 Link 8.05"-16.1"-8.05" 3 Link 9.25"-18.5"-9.25" |
| End Effectors Types |
Arm Configuration 1: Vacuum or Edge Gripping Arm Configuration 2: Vacuum Gripping, Edge Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 22.8" body dia |
| Axes | 9: T, R, Y, Z, Z1, Z2, L, L1, L2 |
| Range of Motion |
T: 500° R:- - 8"-8": [-15.2", 15.2"] - 4.425"8.85"-4.435": [-16.8", 16.8"] - 5.95"-11.9"-5.95": [-22.6", 22.6"] - 8.05"-16.1"-8.05": [-30.7", 30.7"] - 9.25"-18.5"-9.25": [-35.15", 35.15"] Z: 30" (complex axis, Z + L) Y: 344° Tilt: 1.5° |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 5lb |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
