제품 하이라이트

GPR-GB7-W Robot System (300/450mm)
 

GPR-GB7-W Robot System (300/450mm)

GPR-GB7-W 로봇 시스템은 습한 조건에서 Material를 처리해야 하는 기타 공정 분야와 CMP의 자동화와 관련하여 습한 환경에 노출되어 내부가 손상되는 것을 막기 위해 밀봉된 메커니즘으로 설계되었습니다.

GPR 특허 기술은 서보 제어 로봇을 통해, 서보 제어 로봇은 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다. Specifications:

Configuration  
Wafer Size up to 450mm
Arm Configuration(s) 3 Link 6"-12"-6"
2 Link 5.25"-5.25"
End Effectors Types Vacuum, Edge-Gripping, Gravity
Wafer Mapping Reflective; through-beam
Physical Properties  
Size (Diameter/Length) 9.8" (body DIA)
Z travel - body height 8" travel - 18"
12.5" travel - 21"
17" travel - 24.5"
20" travel - 27"
Axes 5: T, R, Y, Z, Z1, Z2
Range of Motion T: 500°
R:
-    6"-12"-6": [-22.8", 22.8]
- 5.25"-5.25": [-9.975", 9.975"]
Z: 8", 12.5", 17", 20"
Tilt: 1.5°
Performance  
Payload (Dynamic/Static) 2.5lbs
Repeatability T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
Environment  
Cleanliness ISO Class 1 Compatible
Wafer contact Materials Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel
Standards Compliance  
Applicable Directives/Standards Machine Directive 89/392/EEC
Low Voltage Directive 73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
Standards to Verify Compliance EN 60204-1:1997
EN 55011
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
Reliability  
Reliability per SEMI E10 >15M

Black Box Option:

블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.

  • 장비 가동시간, 비사용시간, 제조시간, 총가동시간, 자료는 SEMI E10-701 표준을 준수합니다
  • 각 모터에 대한 회전 수
  • 로봇충돌로 인한 과도한 속도/가속, 오버로드로 인한 오류 수
  • 시리얼 번호, 조정 자료, 추가 통계자료와 같은 로봇 특수 정보

누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.

블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.

Black Box Specifications

  • Number of motors observed: up to 8
  • Storage media: 64KB FLASH
  • Data retention time: More than 10 years
  • Communication interface: RS232, Ethernet (optional).