GPR-GB7SY Yaw-축(싱글 혹은 듀얼 yaw) 로봇은 아주 신뢰성 있고 정확하게 450mm 웨이퍼까지 수송할 수 있는 자동화 웨이퍼 핸들러에서 사용할 수 있는 최고 수준의 성능을 얻기 위해 GPR 및 YAW 특허 기술을 포함한 Genmark의 기술적으로 향상된 메커니즘을 특징으로 하고 있습니다.
GPR 특허 기술은 6-자유도 서보 제어 로봇에 기반하고 있으며, 서보 제어 로봇은 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.
유일한 YAW 특허 기술을 통해 GPR-GB7S 로봇 시스템이 고정된 중앙 위치에서 in-line 처리 모듈, FOUPS, Cassette에 접근할 수 있고 공정의 방사선 상의 placement 및 기타 로봇 주위의 스테이션에 대한 필요성을 제거합니다.
GPR-GB7SY Yaw-축 로봇은 Linear track에 로봇을 고정할 필요 없이 4개의 in-line FOUPS 및 치수-같은 공정 모듈에 접근할 수 있습니다. GPR-GB7SY은 수 많은 팔 구성 및 싱글 혹은 듀얼 end-effector에 맞출 수 있기 때문에, 광범위한 반도체 제조 장비 분야의 자동화 요구를 수용할 수 있습니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) |
3 Link 6"-12"-6" 3 Link 4"-8"-4" 2 Link 8"-8' |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | Reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.96" (body DIA) |
| Axes | 6: T, R, Y, Z, Z1, Z2 |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 6"-12"-6": [-22.8", 22.8] - 4"-8"-4": [-17.1", 17.1"] - 8"-8": [-22.8, 22.8"] Z: 17"; 20" Y: 344° Tilt: 1.5° |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2.5lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" Y: +/- 0.005° |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
