Genmark의 "WET" 공정 웨이퍼 핸들링 로봇, GB4S-W 로봇 시스템은 정밀성, 성능, 신뢰성을 제공합니다. GB4S-W는 최소 풋프린트로 WET 공정 장비의 최적의 성능과 최대 시간을 보증합니다. GB4S-W는 CMP 및 기타 분야 등 습성 공정 분야와 연관된 수분/습기 작업 조건으로 인한 로봇 메커니즘의 이른 손상과 같은 모든 주요 우려사항을 처리합니다.
GB4S-W 로봇은 우수한 하중 이동 능력, 타의 추종을 불허하는 신뢰성, 저렴한 소유 가격으로 WET 환경 웨이퍼 수송 분야에서 최고 수준의 성능을 얻을 수 있는 특징을 갖고 있습니다. GB4S-W 로봇 시스템은 싱글 및 듀얼 웨이퍼 구성과 다양한 범위 및 수직 스트로크 조합으로 사용할 수 있습니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 300mm |
| Arm Configuration(s) | 7.25" -7.25" |
| End Effectors Types | Vacuum or edge gripping with optional flipping |
| Wafer Mapping | Optional, reflective or through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.76" body diameter |
| Axes | T, R, Z, E(optional end effector flipping axis) |
| Range of Motion |
T: 500 degrees R: +/- 14.5" Z: 8" E: 180 degrees |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01 degrees R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" E: +/- 0.01" degrees |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC (EMC) SEMI S2 - 93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| Reability | |
| Reliability per SEMI E10 | >4.8M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
