통합 웨이퍼 프리얼라이너가 있는 GB4P 로봇 시스템은 가장 콤팩트한 로봇이며, 프리얼라이너 패키지는 200mm까지 웨이퍼 핸들링 어플리케이션, 유효 하중, 처리량에 대해 현재 시장에서 사용할 수 있습니다.
GB4P는 Genmark의 GB4 로봇과 크기가 동일하며, 2”-8” 사이즈의 웨이퍼용 프리얼라이너를 내장하고 있습니다. 프리얼라이너에서 조절 기능은 다양한 웨이퍼 사이즈에 대해 설정이 단순하고 신속하다는 것입니다. 싱글 혹은 듀얼 웨이퍼 수송을 위해 설계된 GB4P는 다양한 범위 및 수직 스트로크 결합에서 사용 가능합니다.
Genmark GB4P 로봇 시스템은 200mm 크기까지의 웨이퍼에 대해 매우 정확하고, 재연성, 신뢰할 수 있는 웨이퍼 핸들링 및 얼라이닝 솔루션입니다.
| Configuration | |
| Arm Configuration(s) | 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4" |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.76" (body DIA) |
| vert. stroke - body height |
7" - 13.5" 8.5" - 14.3" 12" - 17.85" 17" - 23.5" 20" - 26.5" |
| Axes |
5: Robot - T, R, Z Prealigner - V (vertical), P (chuck rotation) |
| Range of Motion |
T: 500° R: - 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"] - 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 8.5"; 12"; 17"; 20" |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized AI, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| Reability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
