EVTMHS은 큰 작업 환경에서 요구되는 반도체 제조 장비에서 300mm와 450mm 웨이퍼 수송에 대해 설계되어 확장된 수직 이동이 포함된 웨이퍼 헨들링 시스템입니다.
이 시스템은 하드웨어 변경이 없이 200mm 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 웨이퍼 크기가 200mm 이하라면 로봇 end-effector는 재구성되어야 합니다. 이러한 재구성에 소요되는 시간은 일반적으로 모든 pickup 위치를 teaching에 필요한 시간 포함 1시간 이내입니다. 그러므로 평균 teaching 시간 45분(pickup 위치에 대해)은 시스템 펌웨어가 제공하는 섬세한 autoteach 루틴 덕분에 달성될 수 있습니다.
선택적 through beam 센서를 통해 FOUP와 boats에 정상적으로 들어간 웨이퍼, cross-slotted 웨이퍼, double-slotted 웨이퍼를 신뢰성 있게 감지할 수 있습니다. 선택된 팔 구성에 따라, 시스템은 1개 혹은 2개의 in-line Semi standard FOUP에 접근할 수 있습니다. 조작의 관점에서 시스템은 싱글 컨트롤러를 통해 완전히 통합 제어됩니다.
| Configuration | |
| Wafer Size | up to 450mm |
| Arm Configuration(s) | 7-25"-7.25" |
| End Effectors Types | Vacuum, Edge-Gripping, Gravity |
| Wafer Mapping | Reflective; through-beam |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 11.7" (length) |
| Axes | 3 – T,R,Z. |
| Range of Motion |
T: 500° R: [-14.25", 14.25"] Z: 40.57" |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 2 Lb |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized Al, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEc 89/336/EEC (EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >15M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
