제품 하이라이트

SortMax300<span class='small-trade'>™</span>
 

특징

  • 분류기능: 분류, 매핑, 직선 수송, 병합, 분할, 압축, 임의추출, 평면/단계 배치
  • 지원 카세트 유형. FOUP, FOSB, 오픈 카세트
  • 클로스 슬롯 및 더블 슬롯 웨이퍼 감지
  • 사용자 편이 터치스크린 인터페이스
  • 호스트 SECS/GEM 인터페이스
  • 분류 공정 프로그램 지원
  • 자동압력제어시스템은 주변 압력의 변화를 통해 압력 설정 유지하기 위해 팬 속도를 조정합니다
  • 통합 제어 및 모니터링 시스템
  • VFD 제어 임펠러 및 PTFE 미디어 필터와 팬 필터 유닛
  • SEMI E-44-96까지 설치, 인증, 및 균형
  • SEMI S2-93A, S6-93 호환.

SortMax300

Genmark의 SortMax300™은 25년 간의 웨이퍼 핸들링 장비 설계, 개발, 제조 경험의 축적으로 나온 차세대 분류기이며, 소프트웨어 셋업 처리량이 가장 높고, 소유비용이 가장 낮습니다.

잘못 배치된 공정 모듈과 자동으로 상호작용할 수 있으며 높은 하중의 수송 동안 편향 보정을 할 수 있는 특허 GRP 기술을 사용하는 기술 로봇 등의 Genmark 고정밀 로봇을 사용하여 높은 처리량이 달성됩니다.

SortMax300™은 300mm 웨이퍼 및 레티클을 처리하기 위해 설계되었으며, 1에서 5 BOLTS 호환 하중 스테이션 설정에서 카세트와 FOUP의 혼합을 수용하도록 커스터마이즈할 수 있습니다. SortMax300™는 ISO 1등급-미니-환경보다 조금 더 좋으며 이 등급에서 가장 작은 풋프린트를 유지합니다.

Genmark의 ECS300 장비 제어 소프트웨어는 분류, ID, 전송, 압축, 배치, 병합, 분할과 같은 조작 기능을 특징으로 하는 표준 특징을 갖고 있습니다.

 

사양

Enclosure  
Base Frame Welded steel, BOLTS compatible load ports.
Coating Baked powder coat
Fan Filter  
Fan Filter Unit Per customer specification
Filter media PTFE ULPA 99.99995% @ 0.1 micro meters efficiency
Wafer size up to 300mm
Automation  
Atmospheric Robot (types) Grex; GB4S; GB7S; GB8; GB8SM;
End Effector (types) Vacuum gripping, Edge gripping, Gravity
Pre-Aligner (types) Vacuum gripping chuck; edge gripping chuck
Wafer Mapping Through-beam
User Interface Keyboard, mouse, touch screen
Software Interface SEMI E30, E84, E87, E90, E40,E94, E99, E118, E116
Communications RS232 (SECS-1), Ethernet (HSMS)
Physical Properties  
Length Two load ports - 45''
Three load ports - 66''
Four load ports - 80''
Air Pressure: Relative to Cleanroom Ambient  
Port Closed Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c. (2.5 +/-0.13 Pa)
Load/Unload Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c. (2.5 +/-0.13 Pa)
ME Recovery time <38 sec
Air flow velocity 90 +/- 10% ft/min, (0.45 +/-10% m/sec)
Standarts Compliance  
SEMI -SEMI S1-0701
-SEMI S2-1102
-SEMI S7-96
-SEMI S8-0701
-SEMI S9-1101
-SEMI S10-1296
-SEMI S13-0298
-SEMI E15-0698
-SEMI E44-96
-SEMI E54-0997
-SEMI E57-0600
-SEMI E58-0301
-SEMI F47-0400
Other Standards CE standards, International Sematech Integrated Minienvironmental Best Design Practices.
Environment  
Cleanliness Better than Class 1