200mm까지의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 Genmark의 SortMax200™ 웨이퍼 분류기를 통해 이례적일 정도로 우수한 성능을 달성할 수 있습니다. SortMax200™은 최대 8개의 개방 카세트 스테이션을 수용하도록 설정할 수 있습니다.
웨이퍼 두께 측정, UV 세척/제거, ID 응용관련과 같은 상이한 공정을 통합하는 교량 도구를 구축한 수년 간의 경험을 통해 Genmark는 현재 시장에 가장 신뢰할 수 있고 사용성이 좋은 200mm 작은 풋프린트 분류기를 제공하고 있습니다. 다양한 웨이퍼 Mapper, 프리얼라이너, End Effector는 많은 옵션 중 몇 가지입니다.
Genmark의 200mm 웨이퍼 분류기 SortMax200™는 SEMI 표준 및 공장 요건을 완전히 준수하며, 고객의 변화하는 요구사항에 따라 쉽게 설정할 수 있습니다.
분류, ID, 이전, 압축, 배치, 병합/분과 같은 표준 조작 기능을 특징으로 하는 Genmark의 강력하고 커스터마이즈 가능한 ECS300 장비 제어 소프트웨어 특징이 결합되어 있습니다.
| Enclosure | |
| Base Frame | Welded Steel |
| Coating | Baked powder coat |
| Capacity (Stocker) | Total of 8 Open Cassette Stations |
| Wafer Size | 3"-6" |
| Automation | |
| Atmospheric Robot (types) | GB4S |
| End Effector (types | Vacuum Gripping, Dual EE |
| Pre-Aligner (types) | Vacuum Gripping Chuck |
| Wafer Mapping | Laser |
| User Interface | Keyboard, mouse, 21" monitor. |
| Software Interface | TBD (Waiting for data from Engineerging) |
| Communications | RS232 (SECS-I), Ethernet (HSMS) |
| Physical Properties | |
| Length | 47.24" |
| Environment | |
| Cleanliness | Class 1 |
